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1400度单温区2通道低真空CVD系统

TL1400--L-C单温区2通道低真空CVD系统

TL1400--L-C单温区2通道低真空CVD系统

 

       CVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统 ,最高温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度,加热区间可以是单温区、双温区、三温区等,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。

 

       这款CVD系统是由2路供气系统+TL1400管式炉+低真空系统组成

 

     TL1400 产品描述

 

    管式炉以硅碳棒为加热元件,采用双层壳体结构和日本岛电控温仪表,能进行40段程序控温,移相触发、可控硅控制,炉膛采用氧化铝多晶纤维材料碳炉管两端能不锈钢法兰密封,不锈钢法兰上安装有气嘴、阀门和压力表,抽真空时真空度能够达到10-3 Pa ,该炉具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点,是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的理想产品.。

 

软件控制系统:该炉配有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出。

 

密封系统:该炉法兰采用双重硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸,气密性好、可保证12小时压力表指针不偏转。

 

真空系统:可配TW-1.5A真空泵和能够抽到10-1Pa真空泵或能够抽到10-4Pa德国进口分子泵。

 

炉膛材料:采用日本进口炉膛材料,不掉粉、材料保温性能好、反射率高、温场均衡,抗热涨冷缩能力强。

 

加热元件:采用Dia14mm直径硅碳棒、硅碳棒直径粗、表面负荷低,使用使用长。

 

漏电保护功能:该炉装了漏电空气开关,当炉体漏电时自动断电,以确保使用的安全性。

 

供气系统:该炉配有浮子流量计,客户可通过浮子流量计或质子流量计控制气体的流速(详细请查看选件)。

 

法兰:采用双环密封技术,有效的提高了法兰的气氛性,法兰上装有多种接头,可接电阻真空计、KF25波纹管并能做成容易撤卸的铰链式。

 

TL1400-L-C 单温区低真空CVD系统详细技术参数

 

     

TL1400管式炉技术参数

型号

TL1400-L-C-I

TL1400-L-C-II

TL1400-L-C-III

功率

4KW

4KW

6KW

炉管尺寸

Dia 60(OD) X1000 mm

Dia80(OD)X1000

Dia100(OD)X1000

电源电压

220V

相数

单相

加热元件

硅碳棒

控制方式

40段程序控温(日本岛电),可以分成4、2、1组程序,如果分成4组程序,每条程序为10段,

FP93 6组PID控制,低、中、高温度段都能控制得很准确。

具有过温保护断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断。

仪表有华氏度(F)和摄氏度(C)可供选择

带有485 通讯接口

具有自动停机功能

可以储存多组程序、使用时可以任意调出。

炉膛材料

氧化铝多晶体纤维

(氧化铝含量95%以上)日本进口

控制精度

+/- 1 ℃

触发器

移相触发(带软启动和限流功能)

电器

浙江正泰

可控硅

106/16E 德国西门康

最高温度

1400 ℃

额定温度

1350 ℃

升温速率

≤10 ℃/ Min (可根据要求修改)

推荐升温速率

≤5 ℃/ Min

热电偶型号

B型

加热段长度

260mm

真空法兰

                         

铰链式法兰    额   可以接电阻真空计和KF25                     普通式法兰 

 (选件)                波纹管的法兰   (标配)                              

 

 

                                                                

认证

            

 

四周表面温度

≤45℃

 

供气系统

二路浮子流量计

(可选)

        

二路质子流量计

(该系统配这套)

 

三路质子流量计

(可选)

  

四路质子流量计

(可选)

  

五路质子流量计

(可选)

 
 

真空系统

 

 

VS-0.1低真空系统

(可选)

 
 

   VS-高真空系统

          (可选)

 

真空度检测系统

进口电阻真空计

 

 

 

国产电阻真空计

  

 

 

 

 

 

管式炉标准配件

 

 

 

描述

 

 

数量

 

 

图片

TL1400 管式炉

1 台

 

刚玉管

1 根

 

 

不锈钢法兰

1 对

不锈钢炉钩

1根

氧化铝炉塞

2对

高温手套

1 双

氧化铝坩埚

5 个

S型热电偶  1个            

保险

1个

COM转USB接口

1 付

加热元件(除开炉子上配的) 2支

说明书

1 份

 

 

软件

1 份

 

 

 

 

 

点击次数:  更新时间:2014-07-13  【打印此页】  【关闭
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