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1200度单温区4通道低真空CVD系统

TL120011200-L-C双温区4通道低真空CVD系统

TL120011200-L-C双温区4通道低真空CVD系统
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CVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统 ,最高温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度,加热区间可以是单温区、双温区、三温区等,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合

 

这款CVD系统是由4路供气系统+TL1200-1200双温区管式炉+低真空系统组成 

 

这款管式炉以电阻丝(Canthal)为加热元件,采用双层壳体结构和日本岛电控温仪表,能进行40段程序控温,移相触发、可控硅控制,炉膛采用氧化铝多晶纤维材料,具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点,是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的理想产品.。

 软件控制系统:该炉配有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出。

 

 开盖保护系统:该炉安装有行程开关,当炉盖打开时会自动切断电源,有效地保证使用者的安全。

 

     密封系统:该炉顶盖和炉门(其他地方已经焊接好)均采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸,气密性好、可保证12小时压力表指针不偏转。

 

       真空系统:  可配TW-1.5A真空泵和能够抽到10-1Pa真空泵或能够抽到10-4Pa德国进口分子泵。

 

      炉膛材料:采用日本进口炉膛材料,不掉粉、材料保温性能好、反射率高、温场均衡,抗热涨冷缩能力强。

 

      加热元件:  采用世界上一流电阻丝  瑞典Canthal A1 电阻丝  使用使用长,温场均衡。      

 

       漏电保护功能:该炉装了漏电空气开关,当炉体漏电时自动断电,以确保使用的安全性。

 

        供气系统:该炉配有浮子流量计,客户可通过浮子流量计或质子流量计控制气体的流速(详细请查看选件)。

 

       法兰:采用双环密封技术,有效的提高了法兰的气氛性,法兰上装有多种接头,可接电阻真空计、KF25波纹管并能做成容易撤卸的铰链式。 

 

      开盖: 该炉上盖的支撑采用了汽车升降杆,支撑好,用力轻。

 

      

  

 

型号

TL1200-1200-I

TL1200-1200-II

TL1200-1200-III

功率

3 KW

3KW

3KW

炉管尺寸

Dia 60(OD) X1000 mm

Dia80(OD)X1000

Dia80(OD)X1000

电源电压

220V

 

相数

单相

加热元件

电阻丝 0Cr7Al27M02

控制方式(2组FP93岛电表)

40段程序控温(日本岛电),可以分成4、2、1组程序,如果分成4组程序,每条程序为10段,

FP93 6组PID控制,低、中、高温度段都能控制得很准确。

具有过温保护 断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断,(当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时,主电路上的交流继电器会自动断开,主电路断开,面板上ON灯熄灭,OFF灯亮,有限的保护电炉)。 

仪表有华氏度(F)和摄氏度(C)可供选择

带有485 通讯接口

具有自动停机功能

可以储存多组程序、使用时可以任意调出。

 

炉膛材料

氧化铝多晶体纤维

(氧化铝含量95%以上)日本进口

控制精度

+/- 1 ℃

触发器

移相触发

电器

浙江正泰

可控硅

106/16E 德国西门康

第一、二温区最高温度

1200 ℃

第一、二温区额定温度

1100 ℃

升温速率

≤30 ℃/ Min (可根据要求修改)

推荐升温速率

≤15 ℃/ Min

热电偶型号

K型

第一温区加热段长度

205mm

第二温区加热段长度

 

205mm

 
第一温区恒温段长度 80mm
第二温区恒温段长度 80mm

真空度

--0.1MPa 分子泵抽能够达到10-3Pa

 

 

TW-1.5A VRD-4 CDK280分组泵机组

 

1、一般粗略抽真空、把炉管里面的气体赶出来用:TW-1.5A即可

2、VRD-4能够把管式炉炉管的真空度抽到0.4Pa(需要用波纹管)

3、CDK分子泵机组能够把管式炉炉管的真空度抽到10-3Pa

真空法兰

                           

铰链式法兰                   可以接电阻真空计和KF25波纹管的法兰              普通式法兰 

                                                    (该炉标配这种)

 

 

 

电阻真空计(美国进口)(选购)(接口为KF16)

认证

四周表面温度

≤45℃

安全保护系统  

炉体上带有空气开关和保险丝 ,当电流超过空开的额定电流时,空开会自动跳开,有效的保护电炉。  

 

开盖保护系统 该炉安装有行程开关,当炉盖打开时继电器会自动切断主电源,有效地保证使用者的安全 

 

 

 

 

描叙

 

 

数量

 

 

图片

TL1200-1200 双温区管式炉

1 台

石英管60mm OD x 1000mm L

1根

不锈钢法兰

1 套

不锈钢炉钩

1 根

氧化铝炉塞

2对

高温手套

1 对

氧化铝坩埚

5 个

保险

1 个

COM转USB接口

1 套

说明书

1 份

 

 

软件

1份

  

 

点击次数:  更新时间:2014-07-13  【打印此页】  【关闭
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