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1200度三温区4通道可调真空CVD管式炉

1200度三温区4通道可调真空CVD管式炉

1200度三温区4通道可调真空CVD管式炉
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CVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统 ,最高温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度,加热区间可以是单温区、双温区、三温区等,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。

 

这款CVD系统是由4路供气系统+TL1200-1200-1200三温区管式炉+可调真空系统组成 

 

这款管式炉以电阻丝(Canthal)为加热元件,采用双层壳体结构和日本岛电控温仪表,能进行40段程序控温,移相触发、可控硅控制,炉膛采用氧化铝多晶纤维材料,具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点,是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的理想产品.。

 软件控制系统:该炉配有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出。

 

 开盖保护系统:该炉安装有行程开关,当炉盖打开时会自动切断电源,有效地保证使用者的安全。

 

     密封系统:该炉顶盖和炉门(其他地方已经焊接好)均采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸,气密性好、可保证12小时压力表指针不偏转。

 

       真空系统:  可配TW-1.5A真空泵和能够抽到10-1Pa真空泵或能够抽到10-4Pa德国进口分子泵。

 

      炉膛材料:采用日本进口炉膛材料,不掉粉、材料保温性能好、反射率高、温场均衡,抗热涨冷缩能力强。

 

      加热元件:  采用世界上一流电阻丝  瑞典Canthal A1 电阻丝  使用使用长,温场均衡。      

 

       漏电保护功能:该炉装了漏电空气开关,当炉体漏电时自动断电,以确保使用的安全性。

 

        供气系统:该炉配有质子流量计,客户可通过浮子流量计或质子流量计控制气体的流速(详细请查看选件)。

 

       法兰:采用双环密封技术,有效的提高了法兰的气氛性,法兰上装有多种接头,可接电阻真空计、KF25波纹管并能做成容易撤卸的铰链式。 

 

         可调真空:通过调节真空挡板阀阀门开关和用微电脑调节真空泵电机的转速来实现双管管式炉内真空度在10-10000Pa之间某一范围内恒定。

 

        开盖: 该炉上盖的支撑采用了汽车升降杆,支撑好,用力轻。

 

       可控真空系统:该炉真空系统真空泵采用无极变速器,可以把炉管内真空度控制在1-10000Pa之间的某一值上,这一特性特别适合于石墨烯的生长。

 

      

详细技术参数

 

 

 

 

型号

TL1200-1200-1200-I

TL1200-1200-1200-II

TL1200-1200-1200-III

功率

4.5 KW

4.5KW

4.5KW

炉管尺寸

Dia 60(OD) X1300 mm

Dia80(OD)X1300

Dia100(OD)X1300

电源电压

220V

 

相数

单相

加热元件

电阻丝

控制方式(3组FP93岛电表)

40段程序控温(日本岛电),可以分成4、2、1组程序,如果分成4组程序,每条程序为10段,

FP93 6组PID控制,低、中、高温度段都能控制得很准确。

具有过温保护 断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断,(当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时,主电路上的交流继电器会自动断开,主电路断开,面板上ON灯熄灭,OFF灯亮,有限的保护电炉)。 

仪表有华氏度(F)和摄氏度(C)可供选择

带有485 通讯接口

具有自动停机功能

可以储存多组程序、使用时可以任意调出。

 

炉膛材料

氧化铝多晶体纤维

(氧化铝含量95%以上)日本进口

控制精度

+/- 1 ℃

触发器

移相触发

电器

浙江正泰

可控硅

106/16E 德国西门康

第一、二、三温区最高温度

1200 ℃

第一、二、三温区额定温度

1100 ℃

升温速率

≤30 ℃/ Min (可根据要求修改)

推荐升温速率

≤15 ℃/ Min

热电偶型号

K型

第一温区加热段长度

205mm

第二温区加热段长度

 

205mm

 
第三温区加热段长度 205mm
第一温区恒温段长度 80mm
第二温区恒温段长度 80mm
第三温区恒温段长度 80mm

真空度

用机械泵抽时能够达到0.1MPa                                         用分子泵抽能够达到10-3Pa

 

              TW-1.5A                             VRD-8                      CDK280分组泵机组

 

1、一般粗略抽真空、把炉管里面的气体赶出来用:TW-1.5A即可

2、VRD-8能够把管式炉炉管的真空度抽到0.1Pa(需要用波纹管)

3、CDK分子泵机组能够把管式炉炉管的真空度抽到10-3Pa

真空法兰

                                                        

        铰链式法兰                   可以接电阻真空计和KF25波纹管的法兰              普通式法兰 

 

                                                       (该炉标配这种)

 

可调真空度 管式炉内真空可以在10-10000Pa之间某一范围内恒定

电阻真空计(美国进口)(选购)(接口为KF16)

认证

四周表面温度

≤45℃

安全保护系统  

炉体上带有空气开关和保险丝 ,当电流超过空开的额定电流时,空开会自动跳开,有效的保护电炉。  

 

开盖保护系统 该炉安装有行程开关,当炉盖打开时继电器会自动切断主电源,有效地保证使用者的安全 

 

 

标准配件

 

 

 

 

 

描叙

 

 

数量

 

 

图片

TL1200-1200 双温区管式炉

1 台

石英管60mm OD x 1300mm L

1根

不锈钢法兰

1 套

不锈钢炉钩

1 根

氧化铝炉塞

2 对

高温手套

1 付

氧化铝坩埚

5个

K型热电偶 3个

保险

1 个

COM转USB接口

1 套

说明书

1 份

 

 

软件

1份

 

 

 

点击次数:  更新时间:2014-06-10  【打印此页】  【关闭
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