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1200度单温区4通道可调真空CVD双管炉

1200度单温区4通道可调真空CVD双管炉

1200度单温区4通道可调真空CVD双管炉
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     CVD系统 由供气系统+双管管式炉+抽气系统 ,最高温度可以达到1200度,可以是单温区、双温区、三温区等,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。

 

这款CVD系统是由3路供气系统+TL1200双管管式炉+低真空系统组成 

 

  滑动式双管炉是一种特殊的CVD系统,是专门为在金属箔(像铜箔、铝箔等)上生长薄膜而设计,广泛应用在新一代能源关于柔性金属箔电极方面的研究上,特别适用于碳纳米管、碳纳米线、石墨烯的生长。这款双管式炉以电阻丝(Canthal)为加热元件,采用双层壳体结构和日本岛电控温仪表,能进行40段程序控温,移相触发、可控硅控制,炉膛采用日本进口氧化铝多晶纤维材料,具有温场均衡、表面温度低、节能等优点。

 

    双管管式炉炉底安装一对滑轨,可用手推滑动。加热和冷却速率最大可达100°C/min。为取得最快加热,可以预先加热炉子到设定的温度,然后移动炉子到样品位置。为获得最快冷却,可在样品加热后移动炉子到另一端。加热和冷却速率在真空或者惰性气体环境下可以达到10°C/s,是低成本快速热处理的理想炉子

 

   软件控制系统:该炉配有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出。

 

 开盖保护系统:该炉安装有行程开关,当炉盖打开时会自动切断电源,有效地保证使用者的安全。

 

     密封系统:该炉顶盖和炉门(其他地方已经焊接好)均采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸,气密性好、可保证12小时压力表指针不偏转。

 

       真空系统:  可配TW-1.5A真空泵和能够抽到10-1Pa真空泵或能够抽到10-4Pa德国进口分子泵。

 

      炉膛材料:采用日本进口炉膛材料,不掉粉、材料保温性能好、反射率高、温场均衡,抗热涨冷缩能力强。

 

      加热元件:  采用世界上一流电阻丝  瑞典Canthal A1 电阻丝  使用使用长,温场均衡。      

 

       漏电保护功能:该炉装了漏电空气开关,当炉体漏电时自动断电,以确保使用的安全性。

 

        供气系统:该炉配有浮子流量计,客户可通过浮子流量计或质子流量计控制气体的流速(详细请查看选件)。

 

       法兰:该法兰为双管法兰,采用双环密封技术,有效的提高了法兰的气氛性,法兰上装有KF25接口,详细请看技术参数里图片

 

      可调真空:通过调节真空挡板阀阀门开关和用微电脑调节真空泵电机的转速来实现双管管式炉内真空度在10-10000Pa之间某一范围内恒定。

     

TL1200 单温区4通道可调真空CVD双管炉详细技术参数

 

 

TL1400管式炉技术参数

型号

       TL1200-L-C-I

               TL1200-L-C-II

功率

              2.5KW

               2.5KW

炉管尺寸(外管)

  Dia 80(ID73) X1460 mm    

     Dia100(ID93)X1460

        炉管尺寸(外管)   Dia60(53)X1510mm     Dia80(ID73)X1510
        炉子外形尺寸   1500X490X600

电源电压

220V

相数

单相

 

加热元件

瑞典 Kanthal 电阻丝

 

控制方式

40段程序控温(日本岛电),可以分成4、2、1组程序,如果分成4组程序,每条程序为10段,

FP93 6组PID控制,低、中、高温度段都能控制得很准确。

具有过温保护断偶保护   过温(当温度超过1200)或断偶时电炉加热主电路会自动切断。

仪表有华氏度(F)和摄氏度(C)可供选择

带有485 通讯接口

具有自动停机功能

可以储存多组程序、使用时可以任意调出。

 

炉膛材料

氧化铝多晶体纤维

(氧化铝含量95%以上)日本进口

 

控制精度

+/- 1 ℃

触发器

移相触发(带软启动和限流功能)

电器

浙江正泰

可控硅

106/16E 德国西门康

最高温度

1200 ℃

额定温度

1100 ℃

升温速率

≤20 ℃/ Min (可根据要求修改)

推荐升温速率

≤10 ℃/ Min

            冷态极限真空度    用分子泵抽真空时能够达到10-3                    用机械泵抽真空时能够达到0.1Pa       
             可调真空度  管式炉内真空可以在10-10000Pa之间某一范围内恒定

热电偶型号

K 型

加热段长度

400mm

双管法兰

   

                                               

认证

四周表面温度

≤45℃

  安全保护系统

炉体上带有空气开关和保险丝 ,当电流超过空开的额定电流时,空开会自动跳开,有效的保护电炉。  

 

供气系统

二路浮子流量计

(可选)

 

二路质子流量计

(可选 

 

三路质子流量计

(可选)

四路质子流量计

(该系统配这套  

 

五路质子流量计

(可选)

真空系统

 

VS-0.1低真空系统

(可选)

 


 

 

VS-高真空系统

 

     (可选)

真空度检测系统

进口电阻真空计

 

 

 

国产电阻真空计

 

 

双管管式炉标准配件

 

 

 

 

 

 

描述

 

 

数量

 

 

图片

TL1200双管 管式炉

1 台

 

石英管 Dia80X1500

1 根

 

 

 

石英管 Dia60X1500    1根

不锈钢双管法兰

1 对

不锈钢炉钩

1根

氧化铝炉塞

3对

高温手套

1 双

氧化铝坩埚

5 个

保险

1个

COM转USB接口

1 付

说明书

1 份

 

 

软件

1 份

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

供气系统和抽气系统标准配件 请查看供气系统和抽气系统

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

点击次数:  更新时间:2014-06-10  【打印此页】  【关闭
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